Нанометрология
С развитием техники, усложнением процессов производства различных высокотехнологичных изделий резко повышаются требования к средствам контроля их геометрических параметров.
Для реализации повышенных требований необходимы новые технические решения в области метрологии, включающие создание методов и средств контроля линейных размеров и перемещений, имеющих конечной целью достижением нормированной точности в нанометровом диапазоне (НМД).
Многолетний опыт работы института в области точного приборостроения позволил создать поколение принципиально новых приборов и методов измерения линейных параметров деталей в нанометровом диапазоне. Полученные исследования позволили установить, что измерения деталей в НМД должны производиться только методом сравнения с аттестованными образцовыми плоскопараллельными концевыми мерами длины.
Разработанный метод сравнения на новых приборах обеспечивает:
- идентичность методу аттестации концевых мер длины на интерференционном компараторе;
- идентичность контакта, что обеспечивает единство измерения при воспроизведении аттестованной длины концевой меры на новых приборах;
- идентичность контактного и бесконтактного методов измерения в НМД с одним исходным эталоном – скачок контактной разности потенциалов при межатомном расстоянии между поверхностями.
- меры для воспроизведения параметров длин в нанометровом диапазоне (по специальным заказам);
- меры ширины раскрытия и глубины трещин (по специальным заказам);
- устройство механическое для тонкой подачи с нанодискретностью 5-10 нм;
- приборы с электронным индикатором контакта.
В результате исследований, в том числе и на основании разработанной методики оценки температурных деформаций, в институте созданы специальное оборудование, методики и средства, решающие ряд проблем нанометрологии, в том числе:
Работа института по созданию образцовых мер, доложенная на НТК Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии Госстандарта, получила высокую оценку и рекомендации для участия НИИизмерения в Международном проекте по нанотехнологиям. ОАО «НИИизмерения» утвержден членом международной рабочей группы Евро-Азиатского сотрудничества государственных метрологических учреждений «КООМЕТ» в тематической области «Общая метрология». Направление сотрудничества – «Метрологическое обеспечение нанотехнологий». Тема предусматривает проведение работ по таким направлениям, как метрология линейных измерений в нано- и микрометровом диапазоне, в том числе методы и средства измерений геометрических параметров нанорельефа поверхности материалов, объектов, структур и элементов нанотехнологий.