АО «НИИизмерения»
средства контроля размеров и формы

Нанометрология

С развитием техники, усложнением процессов производства различных высокотехнологичных изделий резко повышаются требования к средствам контроля их геометрических параметров.

Для реализации повышенных требований необходимы новые технические решения в области метрологии, включающие создание методов и средств контроля линейных размеров и перемещений, имеющих конечной целью достижением нормированной точности в нанометровом диапазоне (НМД).

Многолетний опыт работы института в области точного приборостроения позволил создать поколение принципиально новых приборов и методов измерения линейных параметров деталей в нанометровом диапазоне. Полученные исследования позволили установить, что измерения деталей в НМД должны производиться только методом сравнения с аттестованными образцовыми плоскопараллельными концевыми мерами длины.

Разработанный метод сравнения на новых приборах обеспечивает:

Работа института по созданию образцовых мер, доложенная на НТК Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии Госстандарта, получила высокую оценку и рекомендации для участия НИИизмерения в Международном проекте по нанотехнологиям. ОАО «НИИизмерения» утвержден членом международной рабочей группы Евро-Азиатского сотрудничества государственных метрологических учреждений «КООМЕТ» в тематической области «Общая метрология». Направление сотрудничества – «Метрологическое обеспечение нанотехнологий». Тема предусматривает проведение работ по таким направлениям, как метрология линейных измерений в нано- и микрометровом диапазоне, в том числе методы и средства измерений геометрических параметров нанорельефа поверхности материалов, объектов, структур и элементов нанотехнологий.