АО «НИИизмерения»
средства контроля размеров и формы

Меры для воспроизведения параметров длин в нанометровом диапазоне БВ-7701

Разработан набор специальных мер со «ступеньками» от 0,03 до 0,3 мкм, применение которых решает проблему метрологического обеспечения приборов с ц.д. 0,01- 0,5 мкм в производственных условиях. Применение этих мер имеет принципиальные преимущества.

Специальная конструкция мер – «ступеньки» - позволяет моделировать соответствующие нанозазоры соединений, что решает проблему метрологического обеспечения капиллярной дефектоскопии для соответствующих микротрещин.

Поверка мер производится на интерференционном компараторе, аналогично поверке образцовых плоскопараллельных концевых мер длины. Калибровка может производиться по интерференционным полосам на образцовой стеклянной пластине, притертой к мере, что позволяет производить оперативную калибровку в производственных условиях. Специальная калибровка мер производится на микроинтерферометре. Разрешающая способность меры – 10 нм.

Аттестация мер на интерференционном компараторе позволяет решить проблему поверки по разрядам, аналогично поверке образцовых плоскопараллельных концевых мер длины.